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    • 原子層沉積系統

      原子層沉積系統,包括:傳統的熱原子層沉積系統(TALD)、等離子增強原子層沉積系統(PEALD)、粉末樣品的原子層沉積系統(Power-ALD)。

      更新時間:2020-11-01

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